SPS 2600-HP，SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系统是MicroXact的半自动探针台，设计灵活，易于使用，可用于高效设备表征，晶圆级可靠性测试和故障分析。这些半自动探针台系统设计用于支持*多200mm晶圆的手动和半自动探测。

高分辨率复合显微镜。

偏光显微镜。

广泛的相机选择。

射频可偏置卡盘和屏蔽罩。

抛光镀金可调节真空吸盘。

超完全真空泵。

温度范围为-65°C至> 400°C的热卡盘（也可以使用更高的温度）。

适用于超声波和激光切割的系统。

可选择XY平移台和超坚固的焊接钢桥，用于高分辨率显微镜。

高分辨率复合显微镜。

偏光显微镜。

广泛的相机选择。

射频可偏置卡盘和屏蔽罩。

抛光镀金可调节真空吸盘。

超完全真空泵。

温度范围为-65°C至> 400°C的热卡盘（也可以使用更高的温度）。

适用于超声波和激光切割的系统。

可选择XY平移台和超坚固的焊接钢桥，用于高分辨率显微镜。