等离子体清洗机对某些有特殊用途的材料，在超清洗过程中等离子体清洗机的辉光放电不但加强了这些材料的粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

等离子体清洗机的应用范围：

* 清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片。

* 清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。

* 移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质。

* 清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石。

* 清洗半导体元件、印刷线路板。

* 清洗生物芯片、微流控芯片。

* 清洗沉积凝胶的基片。

* 高分子材料表面修饰。

* 牙科材料、人造移植物、医疗器械的消毒和杀菌。

* 改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。

设备型号：PE-50

腔体尺寸：长方形腔体，长度140 x深度178 x高度89mm；

腔体材质：T-6铝合金一体成型；

腔体容积：2.21升；

射频电源：13.56MHz；0~100W自动调节；

工作压力范围：1-2000 mT；

气体流量控制：0-25cc/min带精密针阀；

皮拉尼真空计： 0-1Torr；

选配：

1、150W，50KHz；

2、400W，50KHz；

3、150W，13.56 MHz；（自动匹配网络）;

4、300W，13.56 MHz；（自动匹配网络）;

5、Venus PC控制功能，可以通过MFC控制气体；