紫外臭氧清洗工作原理：

清洗设备的核心是低压石英汞灯，产生254和185nm范围的紫外线。臭氧和等离子氧气产生，有机污染物分子在吸收254nm波长紫外线后被激发或分解。激发的有机污染物可以和等离子氧原子反应形成气体，比如CO2，H2O等。整个过程在室温**发生，并且只需要1到几分钟完成。

*注1：白色氧化铝暴露在UV能量下会变黄。这种现象是由于基材吸收UV能量， 而不是一种涂层。这种氧化铝在加热情况下会转化为他原来的颜色。

**注2：清洗元件温度的上升取决清洗过程的时间长度。在大多数应用，元件温度可以视为室温。

UV紫外臭氧清洗的特点:

· 超洁净表面

· 室温操作

· 快速－大多数应用10分钟内可完成

· 运行简单

· 超低采购成本和zui小运行成本

· 10×10 英寸（25.4×25.4cm）

· 220伏

T10X10紫外臭氧清洗机是一款台式的紫外臭氧清洗设备。通过紫外线（185nm和254nm）和臭氧清洗基材表面，能够简单，经济，快速获得超洁净表面。能去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝*等）上的有机污染物。特别是当基材和薄膜蒸镀需要很好的粘接时，紫外清洗非常理想。获得超洁净的表面，只需要在传统清洗后，再用紫外臭氧清洗几分钟。

T10X10紫外臭氧清洗机的属性：