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Tergeo EM型SEM及TEM样品/样品杆清洁专用等离子清洁仪
美国PIE Scientific专注研发先进的实验室用等离子仪器,用于SEM/TEM样品清洁、光刻胶蚀刻、等离子体增强沉积、表面处理与活化。我们的宗旨是:将半导体和核工程研究中开发的**等离子技术集成到经济实用的实验室用等离子仪器。
专为去除SEM & TEM样品的碳氢污染而设计。特有的双清洗模式(immersion和downstream)能够处理各种不同的样品,从严重污染的电子光学孔径光阑到各种脆弱易损样品,如石墨烯、碳纳米管、类金刚石碳膜以及多孔碳支持膜铜网上的TEM样品。石英样品托板上的孔洞可以安装标准SEM样品托。特别设计的适配器可以清洁不同厂家的TEM样品杆。
特点:
1. 系统具有双等离子源。浸入式等离子源用于主动表面处理、光刻胶蚀刻。远程式等离子源用于温和的污染清除以及脆弱易损样品的表面活化
2. 13.56MHz高频射频发生器
3. 7英寸触摸屏控制界面,全自动操作
4. 标配75W版本,可选150W版本
5. 标配2路气体输入,可选第三路气体输入
6. 可选与FEI、JEOL、HITACHI等TEM样品杆配套的专用适配器
7. AC输入:通用(110~230V, 50/60Hz)
除了Tergeo EM型SEM & TEM样品清洁专用等离子清洁仪,另有Tergeo Basic基本型等离子清洁仪和Tergeo Plus型大腔室等离子清洁仪
三、技术参数
1、控制系统
1)操作界面:7英寸电阻触摸屏操作界面,支持多种工作方式。
2)程序控制:可编程,总共有20个程序,每个程序有3个清洁步骤
2、反应腔体
1)腔体材质:圆柱形石英玻璃舱。
2)腔体尺寸:内径110毫米,外径120毫米,深度280毫米,壁厚:5毫米。
3)前观测窗:前方开口,5毫米厚石英玻璃可视窗口,可观测内腔等离子状态,并带有防真空泄漏和避免高压的联锁装置,有效保护操作的安全性;
3、射频电源
1)射频频率:13.56MHz
2)射频功率:标配0~75W;可选配0~150W。从0瓦到150瓦之间以1瓦间距连续可调,自动阻抗匹配。
3)射频输出可以工作在脉冲方式,脉冲比可以从1/255调到255/255(连续输出)。
4、等离子源
1)等离子强度探测器实时测量等离子源强度。
2)电阻耦合电离方式。
3)外置电极设计,高压电极不合等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染。
5、气体控制
1)气路控制:标配一路MFC;可选配三路MFC;
2)质量流量计可以在0~100sccm之间控制气体流量;
3)一路(Venting and purging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体。
4)自动放气流程控制可以保护真空泵不受影响。
5)高性能气压计可以测量1e-4 Torr到大气压之间的气压。
6)6mm气体接口。
6、真空系统
1)KF25法兰接口用来连接真空泵。
2)真空要求:抽速:>1.7m3/h;
3)*低气压:<=200mTorr.
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