认证信息
高级会员 第 2 年
名 称:迈可诺技术有限公司认 证:工商信息已核实
访问量:99934
手机网站
扫一扫,手机访问更轻松
产品分类
公司品牌
品牌传达企业理念
产品简介
应用范围:
离子注入/接触退火;
快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);
SiAu,SiAl,SiMo等炼制合金;
低K电介质;
后植入退火处理;
铜浆烧制;
电阻浆料烧制;
太阳能电池晶片键合工艺;
LTO钛酸锂材料制备;
晶体化,致密化;
产品特点:
JetLight无需真空,大气即可处理;
高纯度石英腔体;
可达300mm的晶圆尺寸;
同时接入四路气体,常用:N2,O2,N2,H2,Ar;
真空负压和惰性气体常压两种模式灵活选择;
三个斜面石英Pin脚将晶片(或基座)固定在腔室中,石英针的设计可提高温度均匀性。
底部设计成非常快速的石英销开关,例如,从4~2英寸,8~4英寸装载切换,则只需一分钟。
提高基板上的温度均匀性,炉具有3~6个独立的加热区域,允许增加基板边缘的功率,以补偿样品边缘上的热损失。
- 推荐产品
- 供应产品
- 产品分类
- PL600-EZI紫外曝光纳米压印系统
- PL400-EZI紫外曝光纳米压印系统
- ECE 5000 Series UV Light-Curing Flood La
- BlueWave LED面光源系统
- BlueWave® MX-275 LED Flood-Curing System
- ALD小型原子层沉积系统
- 1200-ECSeriesFocusedBeamUV紫外面光源
- BlueWave® LED Prime UVA紫外线点光源
- ECE 2000 Series UV Light-Curing Flood La
- BlueWave ® 200 V3.0点光源
- 有机太阳能电池匀胶机
- CNI v3.0 -桌面纳米压印工具
- 钙钛矿太阳能电池Laurell匀胶机
- Dymax SD-100点胶机
- Jetlight系列高温退火炉
- Semoc快速退火炉JetFirst100C