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桌面纳米压印机,易于复制微米和纳米级结构。
纳米压印(热和紫外线)
直径高达210mm圆形模板,带紫外线
150 * 150mm方片模板,采用热处理工艺
热压印
操作简单直观
用途广泛
即插即用
专为研发而设计
CNI v3.0 PV是用于纳米压印和热压印的小型桌面工具,可完成微米和纳米结构从模板复制到基质。
CNI v3.0 PV纳米压印机可以执行热压印以及紫外压印,CNI纳米压印机是纳米复制的**起点,同时也支持成熟和高级的开发工作,纳米压印机操作简单,坚固耐用,便于非标准流程和新实验。
易于安装即插即用(不到20分钟的时间内就可运行工作)
优势凭借其热压印和紫外压印的功能,如果需要,在真空中,CNI v3.0 PV纳米压印机在其产品中是****的,并支持许多不同的技术和工艺。
使用方便无需查看使用手册,每个人都能使用;
紧凑尺寸26*30*14cm(120mm腔室的尺寸);
42*44*14cm(210mm腔室的尺寸);
安装 CNI结构紧凑,无需固定安装;
高质量压印能够将小于40nm的结构复制到大于100μm的结构;
多功能可使用任何尺寸的印章和模板,直径**210mm(8英寸)圆形的模板;
技术支持提供个性化支持,专注于您的加工需求;
特征:桌面大小的纳米压印工具
热压印温度高达250℃
紫外纳米压印,365nm曝光(or405nm–自定义选项)
压印压力从0.3到11bar
在真空压印1mbar
印章和基材尺寸:直径可达210mm
印章和基材没有固定的样式
坚固且易于使用
手动装卸印章和模板
自动程控
软件操作界面简单
可记录所有步骤和流程
CNI V3.0支持许多不同的技术:
热纳米压印
UV纳米压印
热压印
微米结构压印
聚合物粘合
举例:
纳米结构压印
微结构压印
硅片上纳米间距的光栅压印
在软性的基材上压印(如III-V材料,InP)
印章生产
高纵横比结构的热压印
聚合物热压印
热聚合物粘合
要求:
现场安装的技术要求
压缩干燥空气或氮气压力6-11bar,外径6mm连接器,流量至少应该1/2标准L/min;
在10mm外径连接器中,真空度优于0.1mbar(如果有真空选项);
功率:110-240V (50-60HZ, 大于200W);
环境
应安装在干净、无尘和无颗粒的环境,以达到**效果;
工作温度范围10-35℃;
工作湿度范围30-70%;
其他
增压器:如果你的实验室不能提供高于6 bar的压缩空气压力,NILT可以提供一个增压器,可以将3-5 bar加到6-10 bar;
真空泵选项:NILT建议使用Edwards nXDS6i干式涡旋真空泵。任何其他相似或更好规格的泵也可正常工作;
规格:
压力:0.3-11bar
温度:高达200℃,精度+/-1℃,可选高温模块,适用于250℃
紫外线曝光:在120mm腔室中,波长为365mm或405 nm的紫外线LED灯,光功率为12 W,在210 mm腔室中为~100mW/cm2或~165mW/cm2的光功率为57W
真空:可将腔室抽真空至低于1mbar的压力
腔室尺寸:- 直径120毫米,高度20毫米(**可扩展到45毫米)
- 直径为210毫米,高度**为20毫米(无法扩展)
自动复制过程:手动装载印章和基材;通过CNI软件控制,整个复制过程完全自动化软件:全程控制和灵活性除了装载和卸载之外的所有东西都由软件处理
CNI定制: 可根据您的需求定制
在线视频说明:在线安装视频和操作提示
可选项:增压器可将实验室压缩空气供应从3-5bar提升至6-10bar,由NLT人员进行培训和/或安装
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