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型号 | CPS-25-CF-HV | CPS-100-CF-77K | CPS-CF | CPS-150-LN2/LHe-HV |
样片尺寸 | 25mm、50mm、100mm | 50mm | 175mm | |
热规格 | 循环制冷机(型号204N),包括冷头,压缩机,制冷机和氦软管 | 液氮或液氦 | ||
温度范围 | 10K-480K | 77K-480K | 4.5K-480K,6.5K-480K,10K-480K | 5K-480K |
控温精度 | 0.1K | |||
温度偏差 | 100k以下±50 mK | - | 250k以下±50 mK | |
温度分辨 | 0.001K | - | 0.001K | |
热锚探头和辐射屏蔽 | ||||
温控(加热)盘 | ||||
夹头和探针臂的温度监控 辐射屏蔽的温度监测是可选 |
型号 | CPS-25-CF-HV | CPS-100-CF-77K | CPS-CF | CPS-150-LN2/LHe-HV | |||||
真空 | 基础压力较好可达1.0×10-5torr,在室温下用适当的真空泵选择,可以到10-6torr | ||||||||
基础系统 | 包括气体端口和压力释放阀 - | ||||||||
可视窗口 | 可根据客户要求添加 窗口材料:熔融二氧化硅或石英,定制材料和涂层等可选 | ||||||||
光学系统 | 变焦70系统(4UM分辨率)标准,125或160变焦系统可作为选配件,以及获得更经济的解决方案 | ||||||||
照明系统 | 同轴和环形照明LED照明 | 同轴LED照明 | 同轴和环形照明LED照明 | ||||||
快门冷却 | 可选快门冷却 | ||||||||
无论是吊杆安装或底座安装都保证XY或XYZ的精细分辨率 - | |||||||||
摄像头 | 从1百万像素到1k万像素。包括相机的图像和视频捕捉和尺寸测量能力的软件 | ||||||||
探针 | DC(同轴或三轴) RF (多方向的) | ||||||||
微操作 | 各种分辨率(40 TPI或3mm的标准,更高的分辨率可与额外费用)和范围(2“×1”X0.5“,4”×1“X0.5”或4“X1.75”×0.5“)可用 | - | 各种分辨率(40 TPI或3mm的标准,更高的分辨率可与额外费用)和范围(2“×1”X0.5“,4”×1“X0.5”或4“X1.75”×0.5“)可用 | ||||||
电缆 | - 低温温度 - 兼容同轴电缆 - 低温下兼容三轴电缆 - 低温射频电缆 - 低温非磁性射频电缆 | -低温温度 - 兼容同轴电缆 - 低温下兼容三轴电缆 | - 低温温度 - 兼容同轴电缆 - 低温下兼容三轴电缆 - 低温射频电缆 - 低温非磁性射频电缆 | ||||||
晶圆卡片 | -接地 -分离 - 同轴 - 三轴 | ||||||||
软件 | 基于LabVIEW的开放源软件 | ||||||||
震动隔离 | 具有空气阻尼系统的隔振台 隔振波纹管 | ||||||||
震动偏差 | 小于1um | 小于30nm | |||||||
选配项 | - | - | 光纤探针 - 定制的高电平到客户的需求 | - |
低温探针台, cryogenic, probe, station
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